盡量避免頻繁啟停

 

分子泵在勻速工作時(shí)，轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計(jì)），即遠(yuǎn)離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時(shí)候，葉片還受到轉(zhuǎn)動(dòng)切線(xiàn)方向的力，相當(dāng)于對(duì)葉片進(jìn)行彎折的力。顯而易見(jiàn)，對(duì)葉片進(jìn)行彎折對(duì)其疲勞壽命的貢獻(xiàn)更大。

 

另外，分子泵在加速時(shí)功率較大，內(nèi)部發(fā)熱比較嚴(yán)重，頻繁的啟停（兩次啟動(dòng)間隔<30 分鐘）會(huì)造成熱量累積，使分子泵內(nèi)部的溫度過(guò)高，加劇軸承磨損。

 

根據(jù)工藝條件選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s

 

分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在沒(méi)有氣體負(fù)載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負(fù)載時(shí)，需要選擇強(qiáng)制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對(duì)于有些負(fù)載很大的應(yīng)用（比如CVD），或者不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷。

 

無(wú)論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環(huán)境溫度都要保持在 5-35 攝氏度之間，采取水冷時(shí)，要采用經(jīng)過(guò)處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿(mǎn)足說(shuō)明書(shū)的要求。

 

空擋滑行不可取

 

分子泵工作時(shí)轉(zhuǎn)速很高（數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘），加減速過(guò)程中，不可避免的要經(jīng)過(guò)某些危險(xiǎn)的共振頻率，長(zhǎng)時(shí)間在這些共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)，會(huì)增加軸承負(fù)荷、進(jìn)而增加分子泵故障的風(fēng)險(xiǎn)。在真空下自然停泵（空擋滑行）時(shí)，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子要經(jīng)過(guò)幾十分鐘甚至數(shù)小時(shí)的時(shí)間才能完全停止，其中在共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間也會(huì)比較長(zhǎng)。

 

一般建議分子泵停機(jī)時(shí)，手動(dòng)或者通過(guò)專(zhuān)用充氣閥（Vent Valve），通過(guò)充氣口充入空氣/氮?dú)�，增加轉(zhuǎn)子阻力使其快速停機(jī)；手動(dòng)充氣時(shí)，要注意控制充氣速度，使停機(jī)時(shí)間和分子泵啟動(dòng)時(shí)間相當(dāng)（根據(jù)泵的大小不同而不同，一般為 3-10 分鐘）。

 

大多數(shù)型號(hào)的安捷倫分子泵還帶有電磁剎車(chē)功能（Active Stop），可以在不破空的情況下快速停機(jī)。

注意監(jiān)測(cè)前級(jí)真空

 

分子泵是一種高真空泵，它必須配合合適的并且性能良好的前級(jí)泵才可以正常工作；除了在選型時(shí)盡量選擇推薦的前級(jí)泵之外，分子泵使用時(shí)也要注意監(jiān)測(cè)其排氣口的壓力，避免因前級(jí)泵性能下降而使分子泵排氣壓力過(guò)高，造成負(fù)荷過(guò)大，泵溫過(guò)高等。

 

這些情況一定要加軸承吹掃

 

分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，有機(jī)溶劑等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（Purge Valve），工作過(guò)程中利用吹掃氣（一般為干燥氮?dú)猓┏掷m(xù)對(duì)軸承進(jìn)行吹掃，以達(dá)到隔離污染物，保護(hù)軸承的目的。

 

長(zhǎng)期存放不用不是延年益壽的秘訣

 

有客戶(hù)會(huì)認(rèn)為，長(zhǎng)時(shí)間停泵不用對(duì)分子泵的損耗會(huì)比較小。但是，分子泵長(zhǎng)時(shí)間停泵后，在表面張力和重力的作用下，軸承內(nèi)部的潤(rùn)滑脂可能會(huì)出現(xiàn)收縮成團(tuán)、分布不均勻等現(xiàn)象，反而會(huì)影響分子泵的壽命。

 

為了減少軸承因長(zhǎng)期存放而造成的分布不均勻，安捷倫的分子泵控制器內(nèi)置了“軟啟動(dòng)”功能。如經(jīng)過(guò)運(yùn)輸或者停泵的時(shí)間超過(guò) 2 個(gè)月，可以使用軟啟動(dòng)功能啟動(dòng)分子泵，轉(zhuǎn)速以階梯方式緩慢加速，使得軸承潤(rùn)滑脂在低速階段有充分時(shí)間重新均勻分布。如果存放時(shí)間超過(guò) 10 個(gè)月，建議送回維修中心讓分子泵在專(zhuān)用的檢測(cè)平臺(tái)上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合軸承。

 

有下面這些異常一定要盡早檢修

 

分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械，軸承故障可能會(huì)造成泵葉片打碎直接報(bào)廢；而當(dāng)軸承工作狀態(tài)不良時(shí)，會(huì)有一系列的現(xiàn)象，如分子泵無(wú)法啟動(dòng)，運(yùn)行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進(jìn)排氣壓力過(guò)高等外界因素后，應(yīng)盡快停泵，送到維修中心進(jìn)行檢修。

 

安捷倫分子泵標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)服務(wù)

 

安捷倫維修中心提供各型號(hào)安捷倫分子泵的標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)服務(wù)，主要項(xiàng)目包括：對(duì)整泵進(jìn)行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動(dòng)平衡調(diào)試和泄漏檢測(cè)等。

 

安捷倫的分子泵設(shè)計(jì)是免日常維護(hù)的。由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長(zhǎng)時(shí)間（5年以上），或者出現(xiàn)了噪音、溫度、功率異常，及時(shí)的對(duì)其進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)可以大大延長(zhǎng)其使用壽命。