了解儀器的性能和樣品的情況對(duì)測(cè)試XPS來(lái)說(shuō)非常重要，通常來(lái)說(shuō)首先應(yīng)該獲取樣品的寬掃描譜圖，以確定樣品中存在的元素，然后進(jìn)行精細(xì)譜的掃描獲得元素的化學(xué)狀態(tài)信息。

 

01 寬譜掃描的通能選擇

 

寬譜掃描是在整個(gè)結(jié)合能范圍內(nèi)的低能量分辨率、高靈敏度的采集，采集的能量范圍為1200eV到-5eV。對(duì)于島津的XPS來(lái)說(shuō)，寬譜的測(cè)試的通能通常建議為160eV，步進(jìn)為1eV。在該通能下儀器處于高靈敏度的模式，痕量、低濃度的元素都可以在此模式下盡可能地被檢測(cè)到，高通能下可以獲得高計(jì)數(shù)率以及在短時(shí)間內(nèi)可獲得很好的信噪比。

 

如上圖所示為硅酸鹽顆粒負(fù)載Au催化劑，該樣品表面Au的含量低于0.02%原子百分比，全掃譜圖表明硅酸鹽顆粒表面具有很強(qiáng)的O和Si元素信號(hào)，全掃譜圖局部放大圖中可以清晰的看到Au 4f 的雙峰。

 

但如上期所說(shuō)擇較高的通能時(shí)，可以獲得更好的靈敏度，但同時(shí)分辨率會(huì)降低。在該采集條件下，很難確定元素的化學(xué)狀態(tài)。

 

為了確定樣品中元素的化學(xué)狀態(tài)，我們需要在較低的通能下進(jìn)行窄譜掃描。

 

02 窄譜掃描的通能選擇

 

對(duì)于島津的XPS來(lái)說(shuō)，通常建議采用通能40eV、20eV，步進(jìn)0.1eV進(jìn)行測(cè)試，可獲得高能量分辨率的窄譜,可以確定測(cè)試元素局部化學(xué)環(huán)境變化產(chǎn)生的化學(xué)位移。

 

樣品本身對(duì)能量分辨率也有影響，減小通能對(duì)于改善發(fā)射譜線本征寬度較小的譜線（如金屬單質(zhì)或高分子材料中的C 1s）會(huì)有比較明顯的效果。

 

如上圖所示，當(dāng)測(cè)試通能由80eV逐漸降低到5eV時(shí)，能明顯觀察到兩個(gè)化學(xué)態(tài)的光電子譜峰分的更開(kāi)，也能觀察到更多的細(xì)節(jié)。

 

但對(duì)于本征線寬比較大的金屬氧化物測(cè)試而言，通常會(huì)采用通能40eV，在該通能下會(huì)有比較好的靈敏度，即使進(jìn)一步的降低通能到20eV,對(duì)于分辨率的提高（相比于40eV）也非常有限，因?yàn)楸菊骶�寬比較大，通能的減小對(duì)分辨率提高的貢獻(xiàn)不大。

 

典型地說(shuō)，20eV和40eV的通能對(duì)單質(zhì)的Fe 2p可以看出明顯的半高寬變化，但是對(duì)于Fe的氧化物2p峰來(lái)說(shuō)，兩個(gè)通能下的分辨率卻差不多——為什么呢？因?yàn)镕e氧化以后，F(xiàn)e原子（離子）趨于穩(wěn)定，2p軌道的能級(jí)壽命變短，導(dǎo)致發(fā)射譜線的線寬變大，即Fe的WA變大了，通能從40eV變到20eV時(shí)導(dǎo)致的WD變小不足以在測(cè)量譜線的線寬W有明顯的變化，但是對(duì)于Fe單質(zhì)而言，WA足夠小，通能從40eV變到20eV時(shí)導(dǎo)致的WD變小能夠?qū)е聹y(cè)量譜線的線寬W有明顯的變化！

 

03 小結(jié)

 

XPS的測(cè)試，從本質(zhì)上講，就是在譜線分辨率和靈敏度之間找到一個(gè)較好的平衡點(diǎn)——看得見(jiàn)的基礎(chǔ)上要分得開(kāi)！

 

在測(cè)量金屬單質(zhì)和本征線寬較小的譜線（如高分子材料的C 1s）時(shí)，減小通能可以明顯地看到測(cè)量譜線在變窄，但是在測(cè)量金屬氧化物的時(shí)候，往往40eV的通能和20eV的通能在譜線分辨率方面差異不大，但是強(qiáng)度卻下降不少（對(duì)數(shù)關(guān)系哦）。所以，我們經(jīng)常使用的40eV或20eV的通能，就是這樣的兩個(gè)平衡點(diǎn)——20eV在分得開(kāi)方面做得更好一點(diǎn)，對(duì)復(fù)雜的化學(xué)狀態(tài)分辨（金屬單質(zhì)和高分子材料的C和O）更適合；而40eV的通能在看得見(jiàn)的方面做得更好一點(diǎn)，對(duì)于含量較低的元素（金屬的氧化物）分析更適合。

 

當(dāng)然，有時(shí)候要做更極限的分辨，如sp2和sp3雜化的C，可能要用到更小的通能10eV甚至5eV了，那時(shí)候靈敏度下降的更厲害一些，需要使用更高的功率和更多次的掃描才能獲得信噪比更好的譜線了。